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河北東同光電科技有限公司組建成立
年產50噸AZO靶材項目竣工
氧化鈮靶材研發成功并投產
氧化鈦靶材研發成功并投產
氧化鈮旋轉靶材研發成功并投產
TZO及硫化鉬靶材投產
旋轉靶材綁定技術、工藝定型
硅鋁、硅鎳等合金靶材相繼投產
各類靶材相繼研發成功,并投入生產
銅鎵合金管靶研發成功
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